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胡芳仁教授提出“一种基于氮化稼的静电梳状驱动式微镜”
发布时间: 2016-11-18 访问次数: 16

种基于氮化稼的静电梳状驱动式微镜

   本实用新型是一种基于硅基氮化镓的静电梳状驱动式微镜该微镜将氮化镓材料生长在硅上,总共包含西层,层为衬底层,材为硅,由可动梳齿,固定梳齿,悬臂梁,微镜构成,可动梳齿与固定梳齿非等高度。层在下层的基础上生长了层薄薄的氮化材料结构 。 该器件工作时利用梳状电容之间异性电荷的库仑力对微镜进行驱动,由氮化稼材料有的性质,因此可以获得较为理想的驱动效果。本实用新结构简单,参数易设计,创新性的在静电梳状驱动式微镜上生长氮化稼结构,在光通信和 MEMs领域都有较好的应用前景和参考价値。

1 .基于確基氮化镓的静电梳状驱动式微镜,其特征在于,包括有:微镜(A)的西端各伸出一个悬管梁(G) ,悬管梁的単側各分布多个可动梳齿(E) ,固定梳齿(D)则固定在外框上(F) ,每个可动梳齿(E)与固定流齿(D)之间都有着相同的间陳;在微镜(A)悬梁営(G)与可动梳齿(E)的表面上,还覆盖了一层氮化稼结构(B) 。

2 .如权利要求1所述的基于硅基氮化稼的静电流状驱动式微镜,其特征在于,可动梳齿( E)和固定流齿( D)在垂直方向有一个高度差,每个可动流齿与固定流齿之间都有着相同的问隙,硅层的厚度为200µm。

3 .如权利要求1所述的基于硅基氮化稼的静电流状驱动式微镜,其特征在于,覆盖的一 层氮化稼(B)结构厚度为200nm。